Prif nodweddion perfformiad a strwythur:
1. Gall y mesurydd dwysedd arwynebedd a'r marw ffurfio rheolaeth dolen gaeedig.
2. System CCD gyda rheolaeth dolen gaeedig ar gyfer canfod dimensiwn.
3. Gludwch dâp terfynu ar y cynffonau.
4. Gellir gorchuddio slyri haen ddwbl ar yr un ochr i'r swbstrad.
5. Gweithio ynghyd â system MES a rheoli cwmwl mote managere ar gyfer offer.

Monitro ansawdd ac adborth:
1. Mesurydd dwysedd arwynebedd mewn pelydr-X/B ar gyfer canfod ar-lein.
2. System CCD ar gyfer canfod dimensiwn a namau.
Argraffu incjet marc 3.NG.
4. Mesur tymheredd trwy IR ar wyneb yr electrod y tu mewn i'r popty.
5. Mae'r llifmedr màs yn monitro'r llif, y gludedd a'r tymheredd ar-lein.
6. Monitro crynodiad NMP ar gyfer ffwrn catod a chanfod lleithder ar gyfer ffwrn anod.