Prif nodweddion perfformiad a strwythur:
1. Gall y mesurydd dwysedd ardal a marw ffurfio rheolaeth dolen caeedig.
System 2.CCD gyda rheolaeth dolen gaeedig ar gyfer canfod dimensiwn.
3.Paste tâp terfynu ar y sorod.
Gellir gorchuddio slyri haen 4.Double ar yr un ochr i'r swbstrad.
5.Work ynghyd â system MES a rheoli cwmwl brycheuyn managere ar gyfer offer.

Monitro ansawdd ac adborth:
Mesurydd dwysedd 1.Area mewn pelydr X/B i'w ganfod ar-lein.
System 2.CCD ar gyfer canfod dimensiwn a diffygion.
Print inkjet marc 3.NG.
Mesur 4.Temperature trwy IR ar wyneb yr electrod y tu mewn i'r popty.
5. Mae'r llifmeter màs yn monitro ar-lein ar gyfer y llif, gludedd a thymheredd.
Monitro crynodiad 6.NMP ar gyfer canfod popty catod andhumidity ar gyfer popty anod.